第525章 分辨率10m（1 / 2）

第525章  分辨率10μm

    瓷飞厂是下定了决心，肖总远赴京城，但高振东这边的事情，还远远没完。

    此时的他，正在拿着防工委发过来的另一位五爷——轰炸机的资料，细细的计算着、考虑着。

    他想撬动的可不只是攻-5装雷达这个事情。

    就在他算得入神的时候，门被敲响了。

    高振东起身开门，门口是易中海和五道口分来的师妹马娟，马娟性格虽然比较直，有些男子的英气，但是心却是很细的，正合适代表分厂的电子实验室跟进一下光刻机的组装事宜。

    “高师兄，好消息好消息！”马娟不像伍升远那么一板一眼，在单位也叫高师兄，高振东听得还挺爽。

    “光刻机组装好了？”她和易中海一起过来，除了这个不可能有别的。

    “嗯嗯嗯，装好了，我们先试了试，各指标完全达标。”

    “太好了，走，看看去。”高振东把手上的东西一收，站起身就往光刻机试制车间走。

    易中海和马娟跟在后面，马娟笑道：“我们来的意思，就是想请你去主持一下最终的套刻精度试验。”

    高振东连连点头：“嗯，要试，要试。走！走！”

    其他的指标，可以说易中海带着大师傅们，在马娟的配合下基本上都完成了，这个套刻精度，算是最终的综合检验。

    走进光刻机试制车间，透过玻璃看向超净室，展现在高振东面前的是一个像是化学试验室里通风试验橱的东西，或者说是像搞生物的带生物防护的显微装置，别的都看不出干啥的，就是那台显微镜贼显眼。

    这台显微镜是用来人工对准和检查用的，主要解决套刻时的对准问题。高振东在掩模上设计了对准标志，但是对准这个操作，在这台光刻机上是人工操作，那台显微镜就是用来干这些事情的。

    按说这机器高振东来来去去，改来改去也见过不少次了，可以算是老伙计了，但是这次看见，还是心里泛起了一阵激动。

    可算是有结果了，这东西在高振东心里已经不是一台设备，而是一股气。

    高振东前世，在网上对线多年，对手能喷的东西，从逮着啥就能喷啥，慢慢演变为能喷啥才说啥。

    最后干脆成钉子户了，就在那少数几个领域蹲着不走了，任你东南西北风，我自巍然不动，嘴里只是说着“对呀对呀！……光刻机有几种光源，你知道么？”高振东看得愈不耐烦，拿着键盘走远。

    走远归走远，这几样东西的确是到他穿越为止，还没完全拿下的，至少是高端的没拿下，光刻机就是其中一种。

    他妈的，这辈子老子自己造一个玩玩，有几种光源我不知道，但是我知道这台能用，而且还挺好！

    高振东自己也换上防护服，和几名试验人员走进了超净室。

    试验人员早就把试验准备做好了，走进来之后，打开了几个开关，然后示意高振东：“高总，可以了。”

    高振东拿起专用夹具，从带干燥剂的硅片架里，小心的夹起了一片单晶硅片，放到了工件台上，然后扳动开关，硅片被吸附固定。

    这些单晶硅片已经经过清洗、干燥等处理，对光刻胶的附着力此时是最大的。

    然后高振东退后一步，将接下来的试验交给了马娟。

    要的就是一开始的那个爽感，至于具体操作，这些试验人员比他手脚麻利多了，专业的事情还是交给专业的人去做。

    要说高振东这个光刻机原始，那是真的原始，固定好硅片后，马娟开动开关，硅片开始旋转。

    这是高振东的设计，一步到位，光刻胶的涂布，他直接上了旋涂法，前世我们最早的光刻机是用什么方法涂布他不知道，但他知道综合性能肯定是旋涂法最好。

    旋涂法在单晶硅片这种平坦的简单表面涂布，平坦化能力强，容易控制厚度，涂层密度大，厚度均匀，不是没有缺陷，但是可以接受和处理。

    旋转很快达到了预设的转速，在涂料确定的情况下，涂层厚度这些涂布结果参数与转速高度相关，旋转的同时，工件台也在对硅片进行加热，这是为了进一步去除表面重新附着的水汽。

    这些小细节，都是高振东从前世带过来的，不起眼，但是很重要。